• 已选条件：
  • × 6th International Workshop & Summer School on Plasma Physics 201
  • × Deposited coatings
 全选  【符合条件的数据共：1条】

1 High-rate deposition of silicon films in a magnetron discharge with liquid target [会议论文]

作者:Tumarkin, A.^1;Zibrov, M.^1;Khodachenko, G.^1;等

关键词:Coating structures;Deposited coatings;...

会议举办机构:National Research Nuclear University MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute), Kashirskoe shosse 31, Moscow

会议时间:2016

预览  |  原文链接  |  全文  [ 浏览：23 下载：0  ]